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更新時(shí)間：2024-05-22
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Sensofar 的銷售副總裁 Alberto Aguerri 最近接受了 AZO Network 編輯 Adam King 的采訪，內(nèi)容涉及半導(dǎo)體和微電子行業(yè)的光學(xué)計(jì)量解決方案。
AZO Network 是一個(gè)在線平臺(tái)，提供與材料工程、光學(xué)、傳感器和納米技術(shù)、醫(yī)療、生命科學(xué)等相關(guān)的行業(yè)特定網(wǎng)站......
您能否首先向我們的讀者簡(jiǎn)要介紹一下Sensofar和公司的運(yùn)營(yíng)領(lǐng)域？
Sensofar 成立于 2001 年，在亞洲、歐洲和美國(guó)擁有龐大的全球足跡。該公司擁有約 75 名員工，我們?cè)谌蜾N售了大約 1,000 套系統(tǒng)。這些系統(tǒng)可以在各個(gè)行業(yè)中找到，包括半導(dǎo)體和微電子、航空航天和汽車應(yīng)用、醫(yī)療設(shè)備以及大學(xué)的一系列科學(xué)應(yīng)用。
在整個(gè)本世紀(jì)初，該公司的重點(diǎn)是了解目標(biāo)市場(chǎng)和開(kāi)發(fā)技術(shù)，2008 年，Sensofar 轉(zhuǎn)向更多地關(guān)注銷售和制定增長(zhǎng)戰(zhàn)略。
到 2014 年，我們的產(chǎn)品組合已經(jīng)多樣化。我們提供我們的旗艦系統(tǒng) S neox 3D 光學(xué)輪廓儀，以及從傳感器頭到電動(dòng)系統(tǒng)的一系列其他系統(tǒng)。
我們已經(jīng)開(kāi)發(fā)了許多專門(mén)針對(duì)微電子和半導(dǎo)體行業(yè)的解決方案，我們已經(jīng)看到這兩個(gè)領(lǐng)域的巨大增長(zhǎng)，其中大部分重點(diǎn)是我們?nèi)绾翁岣逷CB和半導(dǎo)體市場(chǎng)的質(zhì)量。
您能給我們介紹一下 S neox 3D 光學(xué)輪廓儀嗎？
第 5 代 S neox 3D 光學(xué)輪廓儀是市場(chǎng)上速度最快的掃描共聚焦輪廓儀。它非常易于使用，并且與以前的型號(hào)相比具有一些關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)。為了提高穩(wěn)定性，我們采用了橋式設(shè)計(jì)，傳感器頭采用改進(jìn)的算法來(lái)生產(chǎn)市場(chǎng)上最快的系統(tǒng)，沒(méi)有活動(dòng)部件，因此，**的服務(wù)要求或需要廣泛的校準(zhǔn)。
“Sensofar 提供**的專有技術(shù)，是世界上**一家將共聚焦、干涉測(cè)量和焦距變化集成到單個(gè)傳感器頭中的公司。也可以測(cè)量薄膜和厚膜。連續(xù)共聚焦算法的速度比任何基于激光的共聚焦光柵系統(tǒng)快約五倍。
我們的相干光干涉測(cè)量和相移干涉測(cè)量使 S neox 能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米分辨率（需要時(shí)）。最后，我們新的主動(dòng)照明焦距變化的紋理化能力特別**，使我們能夠?qū)崿F(xiàn)幾乎共聚焦的分辨率。
SensoPRO軟件包如何與S neox 3D Optical Profiler配合使用？
Sensofar 有多種分析軟件，SensoPRO 是受歡迎的自動(dòng)化解決方案。大多數(shù)系統(tǒng)都提供手動(dòng)繪制測(cè)量或推斷粗糙度值的功能，但為了減少任何類型的主觀性，工程師還可以創(chuàng)建一個(gè)采集程序，然后由自動(dòng)化的SensoPRO程序自動(dòng)分析。
“SensoPRO提供了一套不同的插件，用于測(cè)量特定特征（顛簸、孔洞、痕跡......這將自動(dòng)被檢測(cè)、分析和報(bào)告。在測(cè)量大批量樣品或處理許多相同類型的樣品時(shí)，這是常見(jiàn)的做法，在這些樣品中，確保測(cè)量之間的參數(shù)沒(méi)有變化非常重要。
由于 S neox 在確定采集配方后將自動(dòng)測(cè)量引入表格，因此將 S neox 與 SensoPRO 結(jié)果相結(jié)合，即可進(jìn)行自動(dòng)采集和分析。在 SensoSCAN 中單擊 Acquire，即可獲得通過(guò)和失敗報(bào)告。
半導(dǎo)體和微電子行業(yè)通常需要什么樣的測(cè)量能力？
我們談?wù)摰氖莾蓚€(gè)對(duì)其產(chǎn)品有很高“期望"/要求的行業(yè)。流行的表面表征技術(shù)是共聚焦和干涉測(cè)量，因?yàn)樗鼈兎謩e表現(xiàn)出最佳的橫向和最佳垂直分辨率。
舉個(gè)例子，在晶圓組裝中，前端通常是晶圓的制造方式，后端處理引線鍵合和封裝。Sensofar 的主要優(yōu)勢(shì)在于后端。
切片通常用金剛石切割，通常進(jìn)行兩次單獨(dú)的切割。第一次切割是分離，第二次切割是較小的測(cè)量，以確保沒(méi)有損壞芯片。這些切割可以有多種尺寸，擁有具有不同技術(shù)的顯微鏡非常方便，因?yàn)榭梢愿鶕?jù)每種尺寸選擇理想的技術(shù)。
這些雙步高度可以手動(dòng)測(cè)量，也可以通過(guò)SensoPRO自動(dòng)測(cè)量。還有一系列其他關(guān)鍵測(cè)量參數(shù)，所有這些參數(shù)都可以由 S neox 和 SensoPRO 來(lái)滿足。
在質(zhì)量控制應(yīng)用中，什么樣的測(cè)量是重要的，Sensofar如何與客戶合作實(shí)施這些測(cè)量？
首先，尺寸分析是主要檢查之一：MEM行業(yè)需要測(cè)量平坦區(qū)域的半徑，而低倍顯微鏡無(wú)法捕獲半徑。此外，CSP后端的跡線很容易使用共聚焦或干涉測(cè)量技術(shù)進(jìn)行成像，重復(fù)性誤差為0.5%。
然而，在PCB表征中，粗糙度對(duì)于了解PCB的粘合性能至關(guān)重要。您可以手動(dòng)進(jìn)行這些計(jì)算，也可以對(duì)SensoPRO進(jìn)行編程，以自動(dòng)為您提供這些數(shù)據(jù)。SensoPRO可以計(jì)算區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)ISO 25178定義的任何粗糙度參數(shù)。
對(duì)于這種測(cè)量，有人使用手寫(xiě)筆輪廓器，這不僅具有破壞性，而且提供的信息非常有限。將表面理解為一個(gè)區(qū)域并使用 Sa 面參數(shù)肯定會(huì)更好地了解樣品。對(duì)于那些使用手寫(xiě)筆并想大跳轉(zhuǎn)到區(qū)域的人，我們確實(shí)有能力將 Ra 與 Sa 相關(guān)聯(lián)。
另一個(gè)經(jīng)常性的應(yīng)用是CMP機(jī)器。使用 S neox，可以知道其焊盤(pán)的生命周期階段。通常，供應(yīng)商將確保 8 小時(shí)的使用壽命。使用水浸物鏡使用 S neox 進(jìn)行測(cè)量，可以一直測(cè)量墊子，從而可以確認(rèn)其狀態(tài)。這種做法導(dǎo)致在28-30小時(shí)之間使用墊子，從而產(chǎn)生了重要的成本節(jié)約功能。
對(duì)于光伏電池或太陽(yáng)能電池，測(cè)量真實(shí)的3D表面積可以讓我們了解太陽(yáng)能電池的效率。SDR 是 ISO 25178 參數(shù)，可讓我們了解實(shí)際收集光的表面積。此參數(shù)給出了地形的總面積，就好像我們正在拉伸它并測(cè)量它將占據(jù)的 2D 區(qū)域一樣。
Sensofar 采用什么策略來(lái)測(cè)量大批量樣品？
SensoSCAN軟件可以自動(dòng)提示顯微鏡識(shí)別樣品上的基準(zhǔn)標(biāo)記位置，然后移動(dòng)到感興趣的區(qū)域進(jìn)行實(shí)際測(cè)量。基準(zhǔn)點(diǎn)代表了一種加載不同樣品的方法，并確保正確測(cè)量采集配方中所有已建立的位置。
這種方法對(duì)于多用戶實(shí)驗(yàn)室很有用，例如，在多用戶實(shí)驗(yàn)室中，創(chuàng)建例程的工程師將是**能夠控制任何潛在更改的個(gè)人。因此，采集軟件SensoSCAN 具有 3 個(gè)操作級(jí)別：管理員、高級(jí)操作員和操作員。
您是否對(duì)半導(dǎo)體和微電子行業(yè)的缺陷進(jìn)行了表征？
對(duì)于缺陷模式分析，我們通常查看焊盤(pán)缺陷。這些是探針深度，重要的是要了解這種印象與底層芯片的接近程度。
我們?cè)谑謾C(jī)行業(yè)經(jīng)常看到這種情況，如果印象太接近，可能會(huì)導(dǎo)致故障。雖然如果發(fā)生這種情況，購(gòu)買(mǎi)新手機(jī)可能會(huì)更容易，但我們也看到這些芯片在汽車行業(yè)使用，其中故障可能是汽車停止或不停止之間的區(qū)別。
重要的是要確保這些芯片不會(huì)失效，我們可以相對(duì)較快地用單個(gè)視場(chǎng)進(jìn)行測(cè)量。這可以使用我們的干涉儀來(lái)完成，我們可以確定焊盤(pán)壓印的深度。有效的引線鍵合需要了解力。如果力太弱，則粘結(jié)劑有可能分離，但如果力太強(qiáng)，則可能會(huì)產(chǎn)生裂縫或損壞底層。
Sensofar 的解決方案包括使用 10 倍干涉儀透鏡測(cè)量圖像的能力。競(jìng)爭(zhēng)并不總是提供這種能力，因此為了達(dá)到這種分辨率，他們將在共聚焦中獲得相同視野的 50 倍或 100 倍測(cè)量值，然后將多個(gè) X 和 Y 圖像拼接在一起以創(chuàng)建馬賽克。這很耗時(shí)，而且它不能提供與干涉儀相同的垂直分辨率。
在處理由硅和其他材料制成的晶圓時(shí)，應(yīng)考慮哪些方法和技術(shù)？
在使用砷化鎵 （GaAs） 晶圓時(shí)，重要的是要了解 VIA（電路徑）的數(shù)量及其尺寸。在這里，SensoPRO是關(guān)鍵，因?yàn)樗粋€(gè)插件，允許用戶自動(dòng)確定VIA的底部或頂部直徑，高度和相對(duì)X-Y位置。
VIA的圓度也是一個(gè)關(guān)鍵尺寸，SensoPRO給出了詳細(xì)的描述：頂部和底部直徑、高度、孔的X位置以及頂部和底部圓心之間的距離。該插件帶有不同的參數(shù)以適應(yīng)測(cè)量。我們所有的插件都是可配置的，我們可以添加和刪除參數(shù)以更好地適應(yīng)要測(cè)量的樣品。
晶圓中通常具有的其他特征是溝槽、走線、臺(tái)階高度或激光雕刻。我們提供兩種解決方案：手動(dòng)測(cè)量它們，其中報(bào)告可以根據(jù)定量和定性信息的呈現(xiàn)方式進(jìn)行定制;以及SensoPRO附帶的自動(dòng)方法，每個(gè)功能都有一個(gè)特定的插件。結(jié)果是在合格和不合格報(bào)告中進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。
“在Sensofar，我們一直對(duì)定制插件持開(kāi)放態(tài)度，實(shí)際上，SensoPRO中可以找到的所有30個(gè)插件都是通過(guò)內(nèi)部開(kāi)發(fā)而來(lái)的，以解決我們客戶的需求。"
了解翹曲也非常重要，Sensofar 可以通過(guò)坐標(biāo)函數(shù)例程來(lái)實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)。盡管系統(tǒng)可以處理 6 英寸或更大的晶圓，但無(wú)需測(cè)量整個(gè)晶圓。
相反，我們可以在大約 2 分 45 秒內(nèi)測(cè)量 21 個(gè)預(yù)定點(diǎn)，以我們的共聚焦能力可以達(dá)到 20 倍。這種方法不需要任何拼接，但仍然為我們提供了 0.5 微米或 500 納米的分辨率，這足以理解晶圓的翹曲或彎曲。
最后，您能否簡(jiǎn)要介紹一下Sensofar的**方法和能力？
Sensofar 提供市場(chǎng)上最快的掃描共聚焦顯微鏡，使用戶能夠在任何工作、分析或研究中節(jié)省時(shí)間和金錢(qián)。我們還提供市場(chǎng)上通用的掃描輪廓儀，是世界上**一家在一個(gè)傳感器頭中提供共聚焦、干涉測(cè)量和焦點(diǎn)變化的公司。
SensoPRO誕生于為我們的客戶生成的定制插件，現(xiàn)在構(gòu)成了一個(gè)軟件包，為QC市場(chǎng)提供了一個(gè)全自動(dòng)的解決方案。
Sensofar 提供了使用默認(rèn)分析軟件 SensoVIEW 進(jìn)行徒手測(cè)量的可能性，但我們?cè)谖㈦娮雍桶雽?dǎo)體行業(yè)的許多客戶都使用 SensoPRO 的自動(dòng)化功能來(lái)消除其分析程序中的任何主觀性。
Sensofar 歡迎有機(jī)會(huì)滿足客戶需求。我們非常靈活，能夠提供定制解決方案，即使是具有挑戰(zhàn)性的樣品或應(yīng)用。
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